光学玻璃表面制备长周期条形波导光栅的方法
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本发明涉及光波导器件－长周期波导光栅，特别涉及在光学玻璃表面制备长周期条形波导光栅的方法。为解决以BK7光学玻璃为基底材料采用Ag+(K+)→Na+二次离子交换技术制作折射率调制型长周期条形波导光栅时遇到的一些重要的技术问题，本发明采用的技术方案是，(1)对BK7光学玻璃进行仔细清洗、镀膜，旋涂光刻胶；(2)将波导图样转移到光刻胶上；(3)显影30；(4)刻蚀溶液；(5)蚀掉表面的铝掩膜腐；(6)镀金属膜；(7)采用同第4步相同的方法腐蚀掉膜，除去光刻胶；(8)形成长周期光栅，将样片表面的金属掩膜去掉；(9)旋涂透明环氧树脂层。本发明主要用于光学玻璃表面制备长周期条形波导光栅。
基本信息
专利标题 ：
光学玻璃表面制备长周期条形波导光栅的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1794023A
申请号 ：
CN200510136035.9
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张德龙陈才和马锐
申请人 ：
天津大学
申请人地址 ：
300072天津市南开区卫津路92号
代理机构 ：
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 ：
刘国威
优先权 ：
CN200510136035.9
主分类号 ：
G02B6/124
IPC分类号 ：
G02B6/124 G03F7/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/122
基本光学元件，例如，传导光的光路
G02B6/124
短程透镜或集成光栅
法律状态
2010-02-24 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-12-19 ：
授权
2006-08-23 ：
实质审查的生效
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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