无热阵列波导光栅

授权

摘要

本实用新型公开了一种无热阵列波导光栅，包括硅基衬底，和设置于所述硅基衬底之上的无热阵列波导，其具体包括包层与波导芯层，所述芯层设于所述包层之中，并且其折射率高于所述包层的折射率；所述波导芯层包括周期性设置的多层结构，所述多层结构包括：双层二氧化硅材料以及设置于所述双层二氧化硅材料之间的负温度系数材料；所述负温度系数材料用于对所述硅基衬底受热后尺寸形变进行补偿，以减小该无热阵列波导光栅的温漂系数。本实用新型的技术方案简化了传统无热型阵列波导光栅的波导芯层结构，在芯层结构中引入负温度系数材料，使波导结构最终的折射率温度系数是负数，最终保证该光栅的温漂系数满足工艺需求，从而实现无热型工作条件。

基本信息

专利标题：

无热阵列波导光栅

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921427329.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-30

授权号：

CN210442536U

授权日：

2020-05-01

发明人：

陈亦凡郑睿

申请人：

易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司

申请人地址：

安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号2栋

代理机构：

苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

唐静芳

优先权：

CN201921427329.0

主分类号：

G02B6/12

IPC分类号：

G02B6/12