基于应力补偿的无热阵列波导光栅
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摘要
一种基于应力补偿的无热阵列波导光栅，它包括AWG芯片和粘贴在其上的金属板，其特征在于：所述的金属板是单层金属板，金属板的热膨胀系数大于衬底硅的热膨胀系数，在高于AWG工作的环境温度中，将单层金属板粘贴在AWG芯片上。采用上述的结构得到无热的AWG性能，具有应力板加工和制作简单，成本低，阵列波导光栅可靠性和重复性好，有利于批量生产。
基本信息
专利标题 ：
基于应力补偿的无热阵列波导光栅
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1794026A
申请号 ：
CN200510137106.7
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵秀丽刘文
申请人 ：
武汉光迅科技股份有限公司
申请人地址 ：
430074湖北省武汉市洪山区邮科院路88号光迅股份有限公司
代理机构 ：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代理人 ：
朱必武
优先权 ：
CN200510137106.7
主分类号 ：
G02B6/34
IPC分类号 ：
G02B6/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/24
光波导的耦合
G02B6/26
光耦合装置
G02B6/34
利用棱镜或光栅
法律状态
2008-01-09 ：
授权
2006-08-23 ：
实质审查的生效
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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