单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种新型的稀土镧系基合金吸气剂(CFO1剂)，它由65％稀土镧系金属元素与35％金属元素组成，其中的稀土镧系金属为镧、铈、镨、钕；金属元素为铁、钛、镁、铜、锌。本发明还公开了单晶硅制备中采用CFO1剂提纯氩气的方法，包括(1)采用CFO1剂提纯廉价非高纯氩气制备高纯氩气用于单晶硅制备工艺(2)采用CFO1剂进行区熔单硅晶氩气提纯循环回收工艺(3)采用CFO1剂进行直拉单晶硅氩气提纯循环回收的工艺(4)采用CFO1剂进行区熔、直拉单晶硅氩气提纯回收(非循环)生产再生高纯氩气工艺。本发明的CFO1剂的综合吸气性能和性价比要高于目前常用的吸气剂，同时对单晶制备中排放的废氩进行回收再利用，不仅可以大大提高经济效益，而且节省能源保护环境。
基本信息
专利标题 ：
单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1990380A
申请号 ：
CN200510136041.4
公开（公告）日 ：
2007-07-04
申请日 ：
2005-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张忆延
申请人 ：
天津环煜电子材料科技有限公司
申请人地址 ：
300182天津市河东区富民路120号
代理机构 ：
天津市杰盈专利代理有限公司
代理人 ：
朱红星
优先权 ：
CN200510136041.4
主分类号 ：
C01B23/00
IPC分类号 ：
C01B23/00 C22C28/00 C22C30/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B23/00
惰性气体；其化合物
法律状态
2015-02-25 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101599918809
IPC(主分类) : C01B 23/00
专利号 : ZL2005101360414
申请日 : 20051230
授权公告日 : 20101013
终止日期 : 20131230
号牌文件序号 : 101599918809
IPC(主分类) : C01B 23/00
专利号 : ZL2005101360414
申请日 : 20051230
授权公告日 : 20101013
终止日期 : 20131230
2010-10-13 ：
授权
2009-02-25 ：
实质审查的生效
2007-07-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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