用于缩小光斑的装置，包括第一相干性降低元件，它具有由一组第一透明部件组成的第一阵列，第一透明部件被设置为各自接收入射在第一透明元件上的准直光束的不同的第一部分，第一透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第一部分作为各自第一准直子光束。该装置还包括第二相干性降低元件，它具有由一组第二透明部件组成的第二阵列，第二透明部件被设置为接收所述光束中的每个第一准直子光束的各自不同的第二部分，第二透明部件相对于穿过其中的光束各自产生至少两种不同的光程，并输出相应的第二部分作为各自第二准直子光束。该装置还包括一光合成器，用于将第二准直子光束合成为一准直输出光束。