反射型投影光学系统以及具备此反射型投影光学系统的曝光装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种具有8片反射镜，且使第1面的缩小影像形成于第2面上的投影光学系统。投影光学系统具备有用以形成第1面的中间影像的第1反射成像光学系统(G1)，以及用以使中间影像的影像形成于第2面上的第2反射成像光学系统(G2)。第1反射成像光学系统，自第1面侧按照光入射顺序，依次含有第1反射镜(M1)、第2反射镜(M2)、第3反射镜(M3)以及第4反射镜(M4)。第2反射成像光学系统，自第1面侧按照光入射顺序，依次含有第5反射镜(M5)、第6反射镜(M6)、第7反射镜(M7)以及第8反射镜(M8)。且8片所述反射镜中至少一个反射面由球面构成。
基本信息
专利标题 ：
反射型投影光学系统以及具备此反射型投影光学系统的曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101006377A
申请号 ：
CN200580028237.X
公开（公告）日 ：
2007-07-25
申请日 ：
2005-11-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高桥友刀
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
左一平
优先权 ：
CN200580028237.X
主分类号 ：
G02B17/00
IPC分类号 ：
G02B17/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B17/00
有或无折射元件的具有反射面的系统
法律状态
2011-01-19 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101063081550
IPC(主分类) : G02B 17/00
专利申请号 : 200580028237X
公开日 : 20070725
号牌文件序号 : 101063081550
IPC(主分类) : G02B 17/00
专利申请号 : 200580028237X
公开日 : 20070725
2007-09-19 ：
实质审查的生效
2007-07-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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