一种压力传感器，包括具有底面和顶面的硅膜片。底面用本领域技术人员所熟知的方法形成。第一层被形成并图案化在膜片的顶部表面，第一层的面积比膜片的面积大。第二层被形成并图案化在第一层上方。第二层的面积比第一层的面积大。孔形成在第二层中，用于通过本领域技术人员所熟知的方法除去第一层。第三层被形成并图案化在第二层上方。第三层密封第二层中的孔，从而在膜片的顶部表面形成具有参考压力的密封腔。在操作期间，介质被施加到膜片的底面，其中介质压力相对于密封在膜片顶部的参考压力被压力传感器感测。