根据加权主成分分析的错误侦测系统与方法
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摘要
本发明提供一种用来执行动态加权技术以执行错误侦测之方法、装置、以及系统。该方法包含下列步骤：处理工件；以及执行与该工件的处理有关的错误侦测分析。该方法进一步包含下列步骤：决定该错误侦测分析有关的参数与被侦测到的错误间的关系；以及根据该参数与该被侦测到的错误间之该关系，而调整与该参数相关联的加权。
基本信息
专利标题 ：
根据加权主成分分析的错误侦测系统与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101048711A
申请号 ：
CN200580036619.7
公开（公告）日 ：
2007-10-03
申请日 ：
2005-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
M·A·珀迪
申请人 ：
先进微装置公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
戈泊
优先权 ：
CN200580036619.7
主分类号 ：
G05B19/418
IPC分类号 ：
G05B19/418 G05B23/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/418
全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制、柔性制造系统、集成制造系统、计算机集成制造
法律状态
2011-10-12 ：
授权
2007-11-28 ：
实质审查的生效
2007-10-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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