用于测量固态前驱体传输系统中的流率的方法和系统
专利权的终止
摘要
本发明改进了用于确定到沉积工具的前驱体蒸汽的流率的测量精度，尤其用于低蒸汽压前驱体，例如羰基钌(Ru3(CO)12)或羰基铼(Re2(CO)10)。在一个实施例中，系统(1、100)包括被提供用于测量流率的压差压力计。还提供了一种测量和校准的方法。
基本信息
专利标题 ：
用于测量固态前驱体传输系统中的流率的方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101065514A
申请号 ：
CN200580040913.5
公开（公告）日 ：
2007-10-31
申请日 ：
2005-10-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
米克·沃克维克
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李剑
优先权 ：
CN200580040913.5
主分类号 ：
C23C16/16
IPC分类号 ：
C23C16/16 C23C16/52 C23C16/448
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/06
以金属材料的沉积为特征的
C23C16/16
自金属羰基化合物
法律状态
2016-11-23 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101689562661
IPC(主分类) : C23C 16/16
专利号 : ZL2005800409135
申请日 : 20051003
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20151003
号牌文件序号 : 101689562661
IPC(主分类) : C23C 16/16
专利号 : ZL2005800409135
申请日 : 20051003
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20151003
2010-06-16 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-10-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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