用于真空泵的前级管道预调节
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明是一种用于对若干包含不相容气体的真空处理室进行抽真空的装置和方法。气体被引导至包含预调节装置的低于大气压的消减室。在消减室中处理气体以使它们相容。然后，通过前级泵将相容的气体作为单个气流而从消减室中抽走。
基本信息
专利标题 ：
用于真空泵的前级管道预调节
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101069017A
申请号 ：
CN200580041324.9
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2005-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
C·M·贝里M·S·宝格
申请人 ：
波克股份有限公司
申请人地址 ：
美国新泽西州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
马洪
优先权 ：
CN200580041324.9
主分类号 ：
F04B25/00
IPC分类号 ：
F04B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B25/00
专门适用于弹性流体的多级泵
法律状态
2015-04-01 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101712988477
IPC(主分类) : F04B 25/00
专利号 : ZL2005800413249
变更事项 : 专利权人
变更前 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更后 : 爱德华兹真空有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州
号牌文件序号 : 101712988477
IPC(主分类) : F04B 25/00
专利号 : ZL2005800413249
变更事项 : 专利权人
变更前 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更后 : 爱德华兹真空有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国马萨诸塞州
变更后 : 美国马萨诸塞州
2010-02-03 ：
授权
2008-12-17 ：
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 波克股份有限公司
变更后权利人 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国新泽西州
变更后权利人 : 美国马萨诸塞州
登记生效日 : 20081114
变更前权利人 : 波克股份有限公司
变更后权利人 : 爱德华兹真空股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国新泽西州
变更后权利人 : 美国马萨诸塞州
登记生效日 : 20081114
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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