用于下游气体离解的方法和设备
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种用于活化和离解气体的方法和设备，包括用位于一个室中的等离子体产生活化气体。相对于该室的出口设置下游气体进口，使活化气体能够促进通过该气体进口引入的下游气体的离解，其中离解的下游气体基本不会与所述室的内表面发生相互作用。
基本信息
专利标题 ：
用于下游气体离解的方法和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101068614A
申请号 ：
CN200580041519.3
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2005-12-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
W·M·霍尔比X·陈
申请人 ：
MKS仪器股份有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200580041519.3
主分类号 ：
B01J12/00
IPC分类号 ：
B01J12/00 C23C16/452 H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J12/00
用于使气体介质与气体介质反应的一般化学方法；其专用设备
法律状态
2009-09-23 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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