连续移动样品的样品表面平整度的测量。传送装置连续地传送在相对于传送平面以非0角度放置的光栅之下的样品。样品和倾斜光栅之间的相对距离随样品的水平平移变化。放置在样品和光栅之上的照相机以固定的时间间隔捕获图像序列，每一图像包括指示样品的表面平整度的阴影波纹条纹图。样品和光栅之间的相对距离的连续变化在每一相继图像的阴影波纹条纹图之间引入已知或未知的相位阶跃。与照相机相关联的计算机处理图像以确定样品的所选择像素位置处的像素的相位值和样品表面的相对高度。