样品表面成像的方法和装置
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摘要

本发明涉及一种借助共焦显微镜检查对具有形貌的样品表面成像的方法,特别是共焦拉曼和/或荧光显微镜,其中提供了一种用于产生拉曼散射光和/或荧光的激励辐射的装置,特别是第一光源,优选地第一激光光源,以及第二装置,特别是第二光源,优选地第二激光光源或具有独立于第一光源控制的焦点位置的超冷光二极管(SLED)。本发明的特征在于‑所述第一光源发射第一波长范围内的光;‑所述第二光源发射第二波长范围的光;其中所述第一和第二光源的第一和第二波长范围不重叠,并且‑所述第二光源的焦平面借助通过单独控制的焦点位置进入/进入到样品表面上,使得,‑借助所述第二光源的焦点位置信号建立所述样品的形貌,和/或基于该信号使所述样品进入所述第一光源的焦平面。

基本信息
专利标题 :
样品表面成像的方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110537131A
申请号 :
CN201880015168.6
公开(公告)日 :
2019-12-03
申请日 :
2018-02-22
授权号 :
CN110537131B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
彼得·斯皮伊格德尔·奥拉夫·霍洛瑞彻尔沃尔弗拉姆·伊巴赫
申请人 :
WITEC威斯森查特利什仪器和技术股份有限公司
申请人地址 :
德国乌尔姆
代理机构 :
北京中北知识产权代理有限公司
代理人 :
焦烨鋆
优先权 :
CN201880015168.6
主分类号 :
G02B21/00
IPC分类号 :
G02B21/00  G01J3/44  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
法律状态
2022-05-17 :
授权
2020-04-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 21/00
申请日 : 20180222
2019-12-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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