通过表面改性以图案化处理的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种图案化处理表面改性的方法，包括：(a)将可改变位置的孔眼掩模定位于衬底附近，和(b)选择性地暴露所述衬底的一部分以进行表面改性处理，其中通过孔眼掩模中的一个或多个孔眼来限定所述暴露部分。
基本信息
专利标题 ：
通过表面改性以图案化处理的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080670A
申请号 ：
CN200580042844.1
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
史蒂文·D·泰斯蒂莫西·D·邓巴
申请人 ：
3M创新有限公司
申请人地址 ：
美国明尼苏达州
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
樊卫民
优先权 ：
CN200580042844.1
主分类号 ：
G03F1/00
IPC分类号 ：
G03F1/00 G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
法律状态
2012-07-11 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101404331181
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利申请号 : 2005800428441
公开日 : 20071128
号牌文件序号 : 101404331181
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利申请号 : 2005800428441
公开日 : 20071128
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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