干燥盘状基材的部件和方法
专利权的终止
摘要
本发明披露一种用于干燥一盘状基材之部件，其包含：用于固定单一盘状基材的构件，用于供应冲洗液体至盘状基材表面上的构件，用于产生一气剂的构件及用于供应该气剂至盘状基材表面上的构件。还披露一种用于干燥一盘状基材之方法，其包含以下步骤：提供单一盘状基材，将冲洗液体施加至盘状基材表面，将一气剂施加至盘状基材表面上，其中气剂包含一身为散布相的干燥液体及一身为连续相的惰性气体。液体的至少一部分系在气剂供应期间出现于盘状基材上且气剂滴粒凝结于液体表面上。
基本信息
专利标题 ：
干燥盘状基材的部件和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080805A
申请号 ：
CN200580042881.2
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
H－J·克鲁维努斯
申请人 ：
SEZ股份公司
申请人地址 ：
奥地利菲拉赫
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
张祖昌
优先权 ：
CN200580042881.2
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2018-01-23 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20051201
授权公告日 : 20100929
终止日期 : 20161201
申请日 : 20051201
授权公告日 : 20100929
终止日期 : 20161201
2010-09-29 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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