光电装置的垂直生产
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种通过以下方式生产的光电薄膜太阳能电池(310)：将垂直定向的基于托盘(320)的衬底(310)提供到在其中可在所述托盘(320)上循序地形成多个层的一系列反应室(330、340)中。
基本信息
专利标题 ：
光电装置的垂直生产
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101087899A
申请号 ：
CN200580044444.4
公开（公告）日 ：
2007-12-12
申请日 ：
2005-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
约翰·R·塔特尔
申请人 ：
德斯塔尔科技公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王允方
优先权 ：
CN200580044444.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 H01L31/00 C23C16/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2010-08-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101004076877
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2005800444444
公开日 : 20071212
号牌文件序号 : 101004076877
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2005800444444
公开日 : 20071212
2008-02-06 ：
实质审查的生效
2007-12-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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