探针头阵列
专利权的终止
摘要
用于测试半导体晶片上所形成的器件的探针头(12)包括多个探针DUT(被测器件)阵列(16)。各被测器件包括一些焊点，促使这些焊点与相对应的探针DUT阵列(16)中的探针(18、20)压接起来。探针阵列图形具有像凹入、凸出、岛和开口等不连续性，当探针(18、20)接触焊点时这些图形至少与一个器件相对。
基本信息
专利标题 ：
探针头阵列
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101095057A
申请号 ：
CN200580045719.6
公开（公告）日 ：
2007-12-26
申请日 ：
2005-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·J·汉森J·M·隆恩
申请人 ：
佛姆法克特股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
钱慰民
优先权 ：
CN200580045719.6
主分类号 ：
G01R31/02
IPC分类号 ：
G01R31/02
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法律状态
2013-02-13 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101395328386
IPC(主分类) : G01R 31/02
专利号 : ZL2005800457196
申请日 : 20051215
授权公告日 : 20100623
终止日期 : 20111215
号牌文件序号 : 101395328386
IPC(主分类) : G01R 31/02
专利号 : ZL2005800457196
申请日 : 20051215
授权公告日 : 20100623
终止日期 : 20111215
2010-06-23 ：
授权
2008-02-20 ：
实质审查的生效
2007-12-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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