微电子机械系统（MEMS）电容器、电感器及相关系统和方法
专利申请权、专利权的转移
摘要
根据一个方面，在此描述的本发明包括MEMS固定电容器和用于制造该MEMS固定电容器的方法。该MEMS固定电容器可包括衬底上的第一固定电容板。而且，该MEMS固定电容器可包括悬在衬底上方的非导电固定横梁。该MEMS固定电容器还可包括与第一固定电容板间隔预定距离的第二固定电容板，用以在电容板之间产生预定电容。
基本信息
专利标题 ：
微电子机械系统（MEMS）电容器、电感器及相关系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101375197A
申请号 ：
CN200580047975.9
公开（公告）日 ：
2009-02-25
申请日 ：
2005-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
A·S·莫里斯S·J·坎宁安
申请人 ：
维斯普瑞公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
王英
优先权 ：
CN200580047975.9
主分类号 ：
G02B26/00
IPC分类号 ：
G02B26/00 H01G5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
法律状态
2022-03-11 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G02B 26/00
登记生效日 : 20220228
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 维斯普瑞公司
变更后权利人 : 瑞声科技（新加坡）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国加利福尼亚
变更后权利人 : 新加坡淡滨尼工业湾22号3楼1室
登记生效日 : 20220228
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 维斯普瑞公司
变更后权利人 : 瑞声科技（新加坡）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国加利福尼亚
变更后权利人 : 新加坡淡滨尼工业湾22号3楼1室
2012-05-16 ：
授权
2009-04-22 ：
实质审查的生效
2009-02-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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