分配装置及其使用方法
专利权的终止
摘要
本发明涉及一种包括圆柱形器皿的气相反应物分配装置，圆柱形器皿包括底板以及由内壁和底板面限界的内部体积。器皿(4)设有用于检测器皿内部体积中的液体反应物液位的液体反应物液位传感器(2)，并且设有用于检测器皿内部体积中的液体反应物温度的温度传感器(1，11)。该器皿的底板具有设在其中并从底板的表面向下延伸的凹穴(3)，并且液体反应物液位传感器(2)和温度传感器(1，11)的下端位于该凹穴内。该分配装置可用于分配反应物，例如用于在半导体材料和器件制造中进行材料沉积的前体。
基本信息
专利标题 ：
分配装置及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101124605A
申请号 ：
CN200580048460.0
公开（公告）日 ：
2008-02-13
申请日 ：
2005-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·W·彼得斯
申请人 ：
普莱克斯技术有限公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
曾祥夌
优先权 ：
CN200580048460.0
主分类号 ：
G06Q40/00
IPC分类号 ：
G06Q40/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q40/00
金融；保险；税务策略；公司或所得税的处理
法律状态
2020-11-17 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B01F 3/00
申请日 : 20051208
授权公告日 : 20110914
终止日期 : 20191208
申请日 : 20051208
授权公告日 : 20110914
终止日期 : 20191208
2011-09-14 ：
授权
2008-04-09 ：
实质审查的生效
2008-02-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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