合成石英玻璃中微正压测控方法及系统
专利权的视为放弃
摘要
本发明公开了一种在四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃时能够准确测试和控制炉膛内气体与大气压力差压的方法以及可实现上述方法的微正压测控系统，本发明合成石英玻璃炉膛的内压信号依次通过气压传感元件、差压变送开关、信号调理箱一、计算机、信号调理箱二、以及电控柜进行传输和转换，最终由电控柜控制连通炉体的排风风机的工作频率而调整炉膛内压，使压差在1.5～3.0mm水柱范围，以此来提高石英玻璃合成过程中的沉积速率和效率。
基本信息
专利标题 ：
合成石英玻璃中微正压测控方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1811648A
申请号 ：
CN200610000260.4
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2006-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
顾真安张向锋饶传东
申请人 ：
中国建筑材料科学研究院
申请人地址 ：
100024北京市管庄东里1号
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
鲁兵
优先权 ：
CN200610000260.4
主分类号 ：
G05D16/20
IPC分类号 ：
G05D16/20 C03B19/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D16/00
流体压力的控制
G05D16/20
以使用电装置为特征的
法律状态
2010-03-10 ：
专利权的视为放弃
2006-09-27 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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