微正压控制合成石英玻璃反应器
专利权的视为放弃
摘要
本发明公开了一种微正压控制合成石英玻璃反应器,包括一封闭炉体,置于炉体中的基础杆和基础杆端头的沉积砣面,炉体上部设向沉积砣面投料的燃烧器,下部设排风通道,其中,排风通道中设有闸板,排风通道连接排风风机;炉体上部还设一连通炉体内部和外界的测试管,测试管炉外端的一支通过阀门连通氮气管,另一支依次连通一过滤器和通过一软细气管连通一差压变送器,差压变送器电连接一控制单元,控制单元电控制排风风机。本发明能实时检测炉膛的微正压值,实时控制入口和出口气体的流量和流速,使炉膛气氛保持1.5-3mm水柱的微正压,从而提高沉积效率和沉积速率,减少料的损耗,提高合成石英玻璃锭的产品质量,降低能耗。
基本信息
专利标题 :
微正压控制合成石英玻璃反应器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1811649A
申请号 :
CN200610000261.9
公开(公告)日 :
2006-08-02
申请日 :
2006-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
顾真安张向锋饶传东
申请人 :
中国建筑材料科学研究院
申请人地址 :
100024北京市管庄东里1号
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
鲁兵
优先权 :
CN200610000261.9
主分类号 :
G05D16/20
IPC分类号 :
G05D16/20 C03B19/14
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D16/00
流体压力的控制
G05D16/20
以使用电装置为特征的
法律状态
2010-03-10 :
专利权的视为放弃
2006-09-27 :
实质审查的生效
2006-08-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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