合成石英玻璃基板的加工方法
公开
摘要
本发明涉及合成石英玻璃基材的加工方法。通过使作为被加工件的合成石英玻璃基板的表面与由合成石英玻璃制成的保护部件的表面接触并将合成石英玻璃基板的表面叠放在保护部件的表面上从而实现被加工件和保护部件的光学接触接合，并使切削工具通过光学接触接合表面来加工合成石英玻璃基板。这种加工方法能够有效地防止在切削操作期间在切削工具进入部和脱离部处微缺陷的产生。此外，没有使用固定剂连接被加工件和保护部件，因此生产率高，因为不需要施加固定剂和之后去除固定剂。
基本信息
专利标题 ：
合成石英玻璃基板的加工方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114474412A
申请号 ：
CN202111233009.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安藤雅郎山崎裕之
申请人 ：
信越化学工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
谭冀
优先权 ：
CN202111233009.3
主分类号 ：
B28D1/00
IPC分类号 ：
B28D1/00 B28D1/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D1/00
不包含在其他类目中的石头或类似石头的材料，例如砖、混凝土的加工；所用的机械、装置、工具
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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