具有冷却构件的夹盘组件

专利申请权、专利权的转移

摘要

本发明提供一种夹盘组件，包括：阴罩，形成有预定的图案；阴罩框架，支持所述阴罩并具有热辐射和冷却功能；基底，与阴罩对齐并且来自沉积源的沉积材料被沉积在其上；夹盘，将所述基底附在阴罩上，该夹盘包括冷却剂循环管。考虑阴罩的温度优化基底的温度，从而由于热变形导致的对齐误差被最小化。即，防止阴罩本身的温度上升，从而防止由于热膨胀导致的阴罩的变形，提高了基底图案位置的精确度。

基本信息

专利标题：

具有冷却构件的夹盘组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1805119A

申请号：

CN200610000330.6

公开（公告）日：

2006-07-19

申请日：

2006-01-04

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

韩尚辰李星昊许明洙郑锡宪宋官燮康熙哲

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

郭鸿禧

优先权：

CN200610000330.6

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/20 H01L21/683 C23C14/04 C23C16/04

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

法律状态

2012-12-05 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101480549165
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006100003306
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道水原市
变更后权利人 : 韩国京畿道龙仁市
登记生效日 : 20121105

2009-02-25 ：

专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 韩国京畿道
变更后 : 韩国京畿道水原市
登记生效日 : 20090116

2008-03-05 ：

授权

2006-09-13 ：

实质审查的生效

2006-07-19 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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