坐标检测装置及被检测体检查装置
专利权的终止
摘要
本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。
基本信息
专利标题 ：
坐标检测装置及被检测体检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1808055A
申请号 ：
CN200610001075.7
公开（公告）日 ：
2006-07-26
申请日 ：
2006-01-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
加藤洋
申请人 ：
奥林巴斯株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈坚
优先权 ：
CN200610001075.7
主分类号 ：
G01B11/03
IPC分类号 ：
G01B11/03
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/03
通过测量各点的坐标
法律状态
2016-03-16 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101650104460
IPC(主分类) : G01B 11/03
专利号 : ZL2006100010757
申请日 : 20060116
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20150116
号牌文件序号 : 101650104460
IPC(主分类) : G01B 11/03
专利号 : ZL2006100010757
申请日 : 20060116
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20150116
2009-07-22 ：
授权
2006-09-20 ：
实质审查的生效
2006-07-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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