压电振动陀螺元件、压电振动陀螺元件的支撑结构和陀螺传感器

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明的目的是提供压电振动陀螺元件、压电振动陀螺元件的支撑结构和陀螺传感器，难以形成在从基部延伸的梁上形成的鳍状的异形部，维持角速度的检测灵敏度，并可实现小型化。作为解决手段，一种压电振动陀螺元件(1)，由Z板的石英基板通过蚀刻加工而形成，其中，在XY平面上具备：基部(10)；从基部(10)向两侧沿Y轴方向延伸的1对检测用振动臂(11a、11b)；从基部(10)向两侧沿X轴方向延伸的1对连结臂(13a、13b)；从各连结臂的末端部向两侧沿Y轴方向延伸的各1对驱动用振动臂(14a、14b、15a、15b)；从基部(10)延伸的4条梁(20a、20b、21a、21b)；和连接于各梁的末端上的支撑部(22a、22b、23a、23b)，各梁以X轴为基准沿大致60°的方向延伸。

基本信息

专利标题：

压电振动陀螺元件、压电振动陀螺元件的支撑结构和陀螺传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1818553A

申请号：

CN200610002039.2

公开（公告）日：

2006-08-16

申请日：

2006-01-20

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

小仓诚一郎

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

优先权：

CN200610002039.2

主分类号：

G01C19/56

IPC分类号：

G01C19/56 G01P9/04