压电振动元件、压电振子及其制造方法、频率稳定方法

授权

摘要

本发明提供压电振动元件、压电振子、压电振荡器和频率稳定方法，在构成为利用硅粘接剂将压电振动元件保持在绝缘容器内的状态下进行气密性密封的压电器件中，可以解决从硅粘接剂释放的硅蒸气成分附着堆积在压电振动元件的金属膜上，使得谐振频率随着时间推移而最终变得低于目标频率的缺陷。一种压电振子，利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内，该压电振动元件具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板(20)、和形成于该压电基板面上的金属膜(21)，其中，露出于气氛气体中的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜(30)覆盖。

基本信息

专利标题：

压电振动元件、压电振子及其制造方法、频率稳定方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1848678A

申请号：

CN200610003716.2

公开（公告）日：

2006-10-18

申请日：

2006-02-05

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

大岛刚长谷川伸渡边纪之

申请人：

爱普生拓优科梦株式会社

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

优先权：

CN200610003716.2

主分类号：

H03H9/17

IPC分类号：

H03H9/17 H03H3/02 H03H3/04