压电振动器件及压电振动器件的制造方法
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摘要
压电振动器件(10)中，在晶振片(2)上被形成为环状的振动侧第一接合图案(251)与在第一密封件(3)上被形成为环状的密封侧第一接合图案(321)接合；在晶振片(2)上被形成为环状的振动侧第二接合图案(252)与在第二密封件(4)上被形成为环状的密封侧第二接合图案(421)接合，而形成环状接合构件(11a、11b)，实现压电振动的振动部(22)被接合构件(11a、11b)气密密封，接合构件(11a、11b)的内周缘部(111a、111b)及外周缘部(112a、112b)被形成为比内周缘部(111a、111b)与外周缘部(112a、112b)之间的中间部分(113a、113b)密集的状态。该结构能使对振动部进行密封的环状密封用接合件的气密性提高。
基本信息
专利标题 ：
压电振动器件及压电振动器件的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109155620A
申请号 ：
CN201780029715.1
公开（公告）日 ：
2019-01-04
申请日 ：
2017-05-12
授权号 ：
CN109155620B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
吉冈宏树
申请人 ：
株式会社大真空
申请人地址 ：
日本兵库县
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
杨宏军
优先权 ：
CN201780029715.1
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H01L23/02 H03B5/32 H03H9/10
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法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-01-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20170512
申请日 : 20170512
2019-01-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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