振动元件及其频率稳定方法、振子及其制造方法和振荡器
专利权的终止
摘要

本发明提供振动元件及其频率稳定方法、振子及其制造方法和振荡器,在构成为利用硅粘接剂将压电振动元件保持在绝缘容器内的状态下进行气密性密封的压电器件中,可以解决从硅粘接剂释放的硅蒸气成分附着堆积在压电振动元件的金属膜上,使得谐振频率随着时间推移而最终变得低于目标频率的缺陷。一种压电振子,利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内,该压电振动元件具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板(20)、和形成于该压电基板面上的金属膜(21),其中,露出于气氛气体中的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜(30)覆盖。

基本信息
专利标题 :
振动元件及其频率稳定方法、振子及其制造方法和振荡器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN102694524A
申请号 :
CN201210159398.4
公开(公告)日 :
2012-09-26
申请日 :
2006-02-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
大岛刚长谷川伸渡边纪之
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
黄纶伟
优先权 :
CN201210159398.4
主分类号 :
H03H9/17
IPC分类号 :
H03H9/17  H03H3/04  H03H9/02  H03H9/05  H03H9/10  
法律状态
2021-01-15 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20060205
授权公告日 : 20150715
终止日期 : 20200205
2015-07-15 :
授权
2012-11-21 :
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101349725766
IPC(主分类) : H03H 9/17
专利申请号 : 2012101593984
申请日 : 20060205
2012-09-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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