步进式热处理装置
专利权的终止
摘要
提供能够尽可能地缩短加热上升时间，或者能够缩短加热处理时间的步进式热处理装置。根据步进式热处理装置10，由于固定梁20以及可动梁22，是由透明的石英管构成的，因此来自于卤素加热器(加热体)78的辐射能量可以通过该透明的石英管而到达基板的背面，因此与以往的步进式热处理装置相比，便很容易均匀地急速加热，并可以缩短上升时间或加热处理时间。其结果，能够尽可能地减少热处理给基板的特性造成影响的情况。
基本信息
专利标题 ：
步进式热处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1815119A
申请号 ：
CN200610003050.0
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2006-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高羽义明岩田崇
申请人 ：
诺利塔克股份有限公司
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
段承恩
优先权 ：
CN200610003050.0
主分类号 ：
F27B9/24
IPC分类号 ：
F27B9/24
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B9/00
在其内机械移动炉料的炉，例如隧道式的
F27B9/14
以处理时炉料的路径为特征的；以处理时移动炉料的装置为特征的
F27B9/20
炉料基本上是沿直线路径移动的
F27B9/24
用传送装置传送的
法律状态
2017-03-15 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101707559050
IPC(主分类) : B65G 49/07
专利号 : ZL2006100030500
申请日 : 20060126
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20160126
号牌文件序号 : 101707559050
IPC(主分类) : B65G 49/07
专利号 : ZL2006100030500
申请日 : 20060126
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20160126
2009-07-29 ：
授权
2007-01-03 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100519369C.PDF
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2、
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