本发明是有关于一种化学品源的管理系统与方法。在一实施例之中，该系统包括可拆装地承载化学品储槽的支撑件。该系统包括与该支撑件相匹配，用来连接制程模组的化学品供应结构，其中当化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之中时，化学品供应结构可将化学品从化学品储槽之中传送出来。该系统包括和支撑件相匹配的识别读取器(Identification Reader；ID Reader)，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，识别读取器会自动与和化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。该系统包括连结于识别读取器并设置与制程模组相结合的控制模组。本发明可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，而可避免在光阻制作过程中产生操作上的错误。