具有垂直梳状电极结构的致动装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了具有垂直梳状电极结构的致动装置(actuator)。所述致动装置包括：在第一方向上来回移动的平台(stage)；支撑所述平台的来回移动的支撑单元；和平台驱动单元，包括在所述第一方向上从所述平台的相对侧向外延伸的垂直驱动梳状电极，和设置在基板上、与所述驱动电极交替的垂直固定梳状电极，其中所述固定梳状电极包括比所述驱动梳状电极低的第一固定梳状电极、形成于所述第一固定梳状电极上的绝缘层、和形成于所述绝缘层上比所述驱动梳状电极底表面高的第二固定梳状电极。
基本信息
专利标题 ：
具有垂直梳状电极结构的致动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1881004A
申请号 ：
CN200610005171.9
公开（公告）日 ：
2006-12-20
申请日 ：
2006-01-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高泳哲赵镇佑
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200610005171.9
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2010-03-24 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-07-16 ：
实质审查的生效
2006-12-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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