利用腔内自适应光学技术改善固体激光器光束质量的装置，由He－Ne激光器、变密度衰减盘，扩束系统、变形镜、固体激光器的增益介质、匹配扩束凹镜、分光镜、输出耦合镜、哈特曼波前传感器、功率计、高压放大器，高速处理机以及主控计算机组成，He－Ne激光器发出的信标光被凹镜引入到固体激光器的增益介质中，通过分光镜分出两路信号，一路经过输出耦合镜用来耦合输出固体激光器激光光束；另一路由哈特曼波前传感器实时探测腔内像差信息，并通过高速处理机运算处理后得到相应的电压控制信号，把该电压施加到变形镜驱动器上，使其能够实时补偿固体激光器的腔内像差。本发明能够自适应地校正腔内像差，实时性好，有效地改善了固体激光器的输出光束质量，提高了输出光束的远场光斑能量集中度。