本发明涉及微电子领域。本发明公开的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法，包括：集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。方法：1)准备工作步骤；2)网络测试连接工作步骤；3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。