宽温度范围的高低温循环设备中的热传导机构
专利权的终止
摘要

一种宽温度范围的高低温循环设备中的热传导机构,该设备是用于半导体器件的可靠性测试与环境应力筛选的,该热传导机构是针对中国专利200410067891.9,名称为:宽温度范围的高低温循环设备而设计的。它包括:低温热传导机构和高温热传导机。低温热传导机构置于该设备中的液氮子缸外底部,由自上而下依次排列的两面涂有导热硅脂层的环形铟片、过渡冷头和圆形铟片组成。高温热传导机构置于该设备中的加热台上,由环形铟片通过导热硅脂层贴在加热台上构成。本发明的优点是:由于增加了热传导机构,使该高低温循环设备中的传热台的升降温速率大大提高,加快了器件的温度可靠性测试筛选速度。

基本信息
专利标题 :
宽温度范围的高低温循环设备中的热传导机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1800868A
申请号 :
CN200610023378.9
公开(公告)日 :
2006-07-12
申请日 :
2006-01-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴礼刚朱三根龚海梅李向阳方家熊董德平
申请人 :
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 :
200083上海市玉田路500号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
郭英
优先权 :
CN200610023378.9
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26  H01L21/66  G01M19/00  F25B9/14  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2012-03-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101211509935
IPC(主分类) : G01R 31/26
专利号 : ZL2006100233789
申请日 : 20060117
授权公告日 : 20080709
终止日期 : 20110117
2008-07-09 :
授权
2006-09-06 :
实质审查的生效
2006-07-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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