一种三维电子散斑干涉仪
专利权的终止
摘要
本发明公开一种三维电子散斑干涉仪,包括仪器框架和安装在框架上的仪器,所述仪器包括:至少一激光器、一第一旋转反射镜、W场光路、U场光路、V场光路、以及一干涉接收机构;其中包括U场、V场、W场光路的出射光互相正交,每个场光路上都设置有用于时间相移的相移器和用于空间相移的载波片及其步进电机。本发明通过三个场光路分别获得独立的U场、V场、W场位移分量,既简化了程序运算,又能获得更高的精确度,同时可以采用时间相移方法或者空间相移方法测量被测物的三维位移量,实现三维直接测量结果数字化。
基本信息
专利标题 :
一种三维电子散斑干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1815136A
申请号 :
CN200610024466.0
公开(公告)日 :
2006-08-09
申请日 :
2006-03-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张熹陆鹏吴君毅夏远富
申请人 :
中国船舶重工集团公司第七一一研究所
申请人地址 :
200011上海市南江路18号
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
左一平
优先权 :
CN200610024466.0
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2013-05-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101446753226
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006100244660
申请日 : 20060308
授权公告日 : 20080116
终止日期 : 20120308
号牌文件序号 : 101446753226
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006100244660
申请日 : 20060308
授权公告日 : 20080116
终止日期 : 20120308
2008-01-16 :
授权
2006-10-04 :
实质审查的生效
2006-08-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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