数字电子剪切散斑干涉仪
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种数字电子剪切散斑干涉仪,包括一激光器、一扩束机构、一剪切镜、一剪切镜驱动机构、一偏振片、一数字化成像装置以及一计算机,其中剪切镜可更换为大剪切镜或小剪切镜;剪切镜驱动机构包括一水平位移装置和一垂直位移装置,其分别通过步进电机驱动,使剪切镜及偏振片沿平行和垂直于反射光束的方向移动,步进电机转动受所述计算机输出的脉冲控制。本实用新型的数字电子剪切散斑干涉仪实现了大、小电子散斑干涉仪一体化,并且具有自动化时空相移、高灵敏度、数字化等优点。
基本信息
专利标题 :
数字电子剪切散斑干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620049334.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-21
授权号 :
CN200982854Y
授权日 :
2007-11-28
发明人 :
张熹陆鹏吴君毅夏远富艾钢曾宪友郑长江
申请人 :
中国船舶重工集团公司第七一一研究所
申请人地址 :
200011上海市南江路18号
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
左一平
优先权 :
CN200620049334.9
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02 G01N21/88 G01N21/45 G02B5/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2017-01-25 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101700187799
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006200493349
申请日 : 20061221
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101700187799
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006200493349
申请日 : 20061221
授权公告日 : 20071128
终止日期 : 无
2015-12-23 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101725729643
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006200493349
登记生效日 : 20151204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国船舶重工集团公司第七一一研究所
变更后权利人 : 上海齐耀重工有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200011 上海市南江路18号
变更后权利人 : 201108 上海市闵行区华宁路3111号1幢629室
号牌文件序号 : 101725729643
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006200493349
登记生效日 : 20151204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中国船舶重工集团公司第七一一研究所
变更后权利人 : 上海齐耀重工有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 200011 上海市南江路18号
变更后权利人 : 201108 上海市闵行区华宁路3111号1幢629室
2007-11-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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