一种扫描式离子枪

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种扫描式离子枪，包括放电室，置于放电室内的栅极组件以及围绕放电室的会聚磁场装置，其中，栅极组件由中心均有圆孔的源极、栅极和加速极绝缘构成，会聚磁场覆盖源极和栅极，其特征在于：放电室的位于加速极一侧的端口设有扫描磁场装置。该扫描式离子枪通过磁场装置使将离子束在X－Y方向上扫描的方式，实现了大面积的均匀的薄膜蚀刻。并且具有结构简单，制造成本低廉的优点。

基本信息

专利标题：

一种扫描式离子枪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1828817A

申请号：

CN200610024805.5

公开（公告）日：

2006-09-06

申请日：

2006-03-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

刘阳旸

申请人：

上海市七宝中学

申请人地址：

201101上海市闵行区七宝镇七中路1号

代理机构：

上海伯瑞杰知识产权代理有限公司

代理人：

吴泽群

优先权：

CN200610024805.5

主分类号：

H01J37/08

IPC分类号：

H01J37/08 H01J27/02 H01L21/3065

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/02

零部件

H01J37/04

电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置

H01J37/08

离子源；离子枪

法律状态

2015-05-06 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101608725381
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL2006100248055
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20080521
终止日期 : 20140317

2008-10-15 ：

专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)

变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海市七宝中学
变更后权利人 : 上海电气液压气动有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 上海市闵行区七宝镇七中路1号邮编 : 201101
变更后 : 上海市闵行区莘朱路2188号邮编 : 200237
登记生效日 : 20080905

2008-05-21 ：

授权

2006-10-25 ：

实质审查的生效

2006-09-06 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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