微型纵向驱动器
专利权的终止
摘要

本发明公开了一种微型纵向驱动器,其结构特点是:上极板由位于四角的弹性梁支撑,上极板的运动由分别位于上极板和基底的两个上下梳齿间的静电斥力驱动,同上下梳齿极性相反的固定梳齿通过固定锚点与上梳齿交错位于与上极板一致的同一平面上,这样位于上极板上的可动梳齿上下表面的静电力之差较大即净斥力较大,在较小的驱动电压下能获得较大的驱动行程。本发明提出的微型纵向驱动器结构简单,设计方法新颖,可采用标准的MUMPs表面工艺加工,有效增大了施加于可动梳齿电极上下表面的静电力之差即净斥力,促进了微型静电驱动器在MEMS领域的应用和发展。

基本信息
专利标题 :
微型纵向驱动器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1794555A
申请号 :
CN200610041616.9
公开(公告)日 :
2006-06-28
申请日 :
2006-01-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
乔大勇苑伟政马志波李晓莹李开成吕湘连
申请人 :
西北工业大学
申请人地址 :
710072陕西省西安市友谊西路127号
代理机构 :
西北工业大学专利中心
代理人 :
黄毅新
优先权 :
CN200610041616.9
主分类号 :
H02N1/00
IPC分类号 :
H02N1/00  
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法律状态
2014-03-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101576122357
IPC(主分类) : H02N 1/00
专利号 : ZL2006100416169
申请日 : 20060109
授权公告日 : 20091118
终止日期 : 20130109
2009-11-18 :
授权
2006-08-23 :
实质审查的生效
2006-06-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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