梳齿电极对的制造方法
授权
摘要
本发明提供梳齿电极对的制造方法。该方法由材料衬底制造一对梳齿电极，该材料衬底包括第一导电层、第二导电层以及位于第一导电层与第二导电层之间的绝缘层。该对梳齿电极包括第一梳齿电极和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体以及由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。
基本信息
专利标题 ：
梳齿电极对的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1831579A
申请号 ：
CN200610059745.0
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2006-03-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高马悟觉壶井修曾根田弘光上田知史
申请人 ：
富士通株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
隆天国际知识产权代理有限公司
代理人 ：
王玉双
优先权 ：
CN200610059745.0
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 H01L29/84 G01P15/125 G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2008-08-13 ：
授权
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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