液体混合供给方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明提供一种用于制备混合蚀刻溶液的液体混合供给方法，其中将硫酸、过氧化氢、超纯水以及氢氟酸混合到一起。该液体混合供给方法包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ppm单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到混合罐，并使它们混合，其中所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。因为硫酸、过氧化氢以及超纯水的供给起始点互不相同，所以，可最小化由于硫酸与过氧化氢之间的反应所产生的热量。

基本信息

专利标题：

液体混合供给方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1840232A

申请号：

CN200610065101.2

公开（公告）日：

2006-10-04

申请日：

2006-03-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

张秀逸崔光一

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

代理人：

武玉琴

优先权：

CN200610065101.2

主分类号：

B01F3/08

IPC分类号：

B01F3/08 B01F15/04 B01J4/02