压电元件、液体喷射头及其制造方法,液体喷射设备
专利权的终止
摘要
本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件、该压电元件的制造方法、一种液体喷射头、该液体喷射头的制造方法和一种液体喷射设备。该压电元件的制造方法包括如下步骤：通过在下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半个小时到三个小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。
基本信息
专利标题 ：
压电元件、液体喷射头及其制造方法,液体喷射设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1838445A
申请号 ：
CN200610065141.7
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李欣山
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
柳春雷
优先权 ：
CN200610065141.7
主分类号 ：
H01L41/24
IPC分类号 ：
H01L41/24 H01L41/09 H01L41/187 B41J2/14 B41J2/045
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法律状态
2021-03-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 41/24
申请日 : 20060321
授权公告日 : 20090415
终止日期 : 20200321
申请日 : 20060321
授权公告日 : 20090415
终止日期 : 20200321
2009-04-15 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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