洗涤装置及洗涤方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

能够同时洗涤或漂洗晶圆的表面及背面并且能够确实防止已洗涤或漂洗过背面的洗涤用流体对表面造成重复污染。通过洗涤槽(23)内的洗涤用流体洗涤或漂洗该洗涤槽中设置的晶圆(1)的洗涤装置(11)包括：嵌接在装置主体(29)上构成洗涤槽并且形成对应于晶圆外形的开口部(30)的正面壁(28)；从正面壁的外侧通过上述开口部能够支持从正面壁内侧搬入的晶圆的背面(3)、并使上述晶圆在纵向上呈竖直状态的晶圆支持装置(24)；以及在上述正面壁内面的上述开口部周围设置的接触晶圆的背面、并使上述晶圆与上述开口部周围之间形成环状间隙(72)的栓(71)。

基本信息

专利标题：

洗涤装置及洗涤方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1840247A

申请号：

CN200610065164.8

公开（公告）日：

2006-10-04

申请日：

2006-03-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

泽木晃河野通久

申请人：

株式会社华祥

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司

代理人：

周建秋

优先权：

CN200610065164.8

主分类号：

B08B3/04

IPC分类号：

B08B3/04 B08B3/12 B08B13/00 F26B3/02 B08B11/00 B08B11/02 H01L21/304