可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
授权
摘要
本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。
基本信息
专利标题 ：
可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1841119A
申请号 ：
CN200610079421.3
公开（公告）日 ：
2006-10-04
申请日 ：
2006-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中村亮介郑昌镐
申请人 ：
精工爱普生株式会社;思泰克株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200610079421.3
主分类号 ：
G02B26/00
IPC分类号 ：
G02B26/00 G01J3/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
法律状态
2008-08-13 ：
授权
2006-12-06 ：
实质审查的生效
2006-10-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
