隔热壁体、发热体保持构造体、加热装置及基板处理装置

专利权的终止

摘要

一种隔热壁体，防止发热体的卡挂，将发热体的变形防止于未然。在设有发热体(42)的安装槽(40)的侧壁上设有倾斜的锥面(40b、40c)，该锥面(40b、40c)是朝着隔热壁体(33)的中心方向而远离发热体(42)。在随着热膨胀而发热体(42)在安装槽(40)内向半径方向外侧移动时，能够防止发热体(42)被卡在安装槽(40)的锥面(40b、40c)上，所以即使发热体(42)降温而收缩，发热体(42)也能够在安装槽(40)内向半径方向内侧移动而返回到原位置。通过防止发热体的伴随着热膨胀及热收缩的变形，能够将伴随着发热体的热膨胀及热收缩而发生的发热体的断裂防止于未然，所以能够延长发热体的寿命。

基本信息

专利标题：

隔热壁体、发热体保持构造体、加热装置及基板处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620006680.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-03-31

授权号：

CN2914322Y

授权日：

2007-06-20

发明人：

杉浦忍立野秀人村田等

申请人：

株式会社日立国际电气

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

黄剑锋

优先权：

CN200620006680.9

主分类号：

H01L21/205

IPC分类号：

H01L21/205 H01L21/22 H01L21/324 H01L21/00 H01L21/67 C23C16/00