石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置
授权
摘要
本发明的目的在于提供一种能够以简单的构造来可靠地固定石英管而没有摇晃、倾斜、脱离、破损等、还可设置许多石英管的石英管保持构造和使用该石英管保持构造的热处理装置。一种石英管保持构造具有：纵长的处理容器(10)；石英管(110)，其沿着该处理容器的内壁面(12)的长度方向，至少在该处理容器的下部与所述内壁面之间具有间隔地设置；支承构件(102)，其从下方支承该石英管；按压力产生器具(140)，其在所述处理容器的下部对所述石英管施加从所述处理容器的内侧朝向所述内壁面的按压力来固定所述石英管。
基本信息
专利标题 ：
石英管保持构造和使用了石英管保持构造的热处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107134424A
申请号 ：
CN201710104454.7
公开（公告）日 ：
2017-09-05
申请日 ：
2017-02-24
授权号 ：
CN107134424B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
菊池诚弘八木赏
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201710104454.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2018-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20170224
申请日 : 20170224
2017-09-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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