一种提高使用寿命的热处理石英管
授权
摘要
本实用新型提供一种提高使用寿命的热处理石英管，包括石英管主体，以及插入所述石英管主体内部的石英细管；其中，所述石英管主体包括热处理放置区和尾部的细管插入区，所述细管插入区开设有圆孔，所述石英细管通过所述圆孔插入到所述细管插入区，用于样片的热处理。本实用新型的有益效果是：不必更换整个石英管，有效的减少更换成本；石英管尾部整体加厚，可以有效避免因热处理过程中产生的湿氧水蒸气对石英管的损坏，有效延长使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种提高使用寿命的热处理石英管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122403200.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
CN216514266U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
甄新雷周宏邦张恒杨强娄中士关真大刘利平贾海洋张强王淼
申请人 ：
内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202122403200.X
主分类号 ：
C30B33/02
IPC分类号 ：
C30B33/02 G01N1/28
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/02
热处理
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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