多工位旋转样品台
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

一种多工位旋转样品台。本实用新型提供的多工位旋转样品台,是在原设备的旋转轴底座上附加一个过渡圆盘,在过渡圆盘的偏心位置,安装一个连接轴,其上依次安装有从动齿轮盘、多工位基片插槽和开有一个溅射孔的基片挡板,基片夹插入多工位基片插槽内,与从动齿轮盘啮合的扇形主动齿轮安装在原磁力旋转调节杆的末端。本实用新型是在多靶共溅射镀膜设备中配备了多工位样品台,从而作到了开一次腔体,换一次基片,抽一次本底真空,就可以对多个基片分别进行多靶共溅射试验,可以提高试验效率6-7倍,另外,由于采用了手动调节工位的设计方案,降低了投资成本。该装置换位准确,装卡试样简单,使用维修方便,性能价格比高。

基本信息
专利标题 :
多工位旋转样品台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620025914.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-04-25
授权号 :
CN2923741Y
授权日 :
2007-07-18
发明人 :
李群英杜希文孙景赵兴
申请人 :
天津大学
申请人地址 :
300072天津市南开区卫津路92号天津大学材料学院
代理机构 :
天津佳盟知识产权代理有限公司
代理人 :
侯力
优先权 :
CN200620025914.4
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/34  C23C14/54  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2009-06-24 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-07-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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