一种新型振荡超精研装置，其利用交流伺服电机(7)的半闭环控制，并通过可编程序控制器的定位模块使伺服放大器控制交流伺服电机进行运动。其主要由交流伺服电机(7)、联轴器(6)、摆动轴(5)、油石加压机构(3)和油石(1)构成，交流伺服电机通过联轴器与摆动轴的一端连接，摆动轴安装在支座上，摆动轴的另一端与油石加压机构连接，油石加压机构上装置有一气缸(4)和油石夹(2)，油石夹上固定连接一油石。其利用人机界面可对参数进行数字化设置，这样可以直观显示出并调整油石的位置；通过人机界面可以设定振荡的幅度和振荡的中心位置。其机械结构简单、中间环节少、可靠性高，操作容易可靠。