本实用新型提供了一种内冷式高速薄膜研磨头，其特点是研磨抛光转轴外面，安装一个与转轴间隙配合的给水套，并在给水套位置上沿转轴的表面径向到轴心，再沿轴向穿过薄膜夹持器和薄膜，打钻水道，将冷却液经给水套内的给水环，沿水道引至抛光薄膜中心，向工件表面四周喷射，均匀冷却工件的研磨抛光部位，并将工件表面的切屑和其它微粒冲刷干净，以避免它们划伤工件表面；由于内冷式结构有效降低了工件表面研磨抛光时产生的温升，可使研磨抛光速度增大到10000r/min以上，研磨抛光后工件表面的粗糙度达到Ra0.1－0.025mm；本实用新型的应用，进一步提高了研磨抛光的质量和效率，拓展了研磨抛光的应用范围，是软研磨技术的又一突破。