晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置，它包括电源，升降电机，与升降电机连接的引下装置，与引下装置连接的升降台，以及位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管，其特征在于：每个导向管支架的下端设置有旋转轴，旋转轴贯穿升降台，旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮，其中一个旋转轴比其它旋转轴长，该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。它可广泛应用于晶体生长系统。

基本信息

专利标题：

晶体生长系统中的可旋转多坩埚支撑装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620048051.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-11-22

授权号：

CN200978306Y

授权日：

2007-11-21

发明人：

万尤宝刘俊星

申请人：

嘉兴学院;嘉兴市晶英光电子技术有限公司

申请人地址：

314001浙江省嘉兴市越秀南路56号

代理机构：

上海开祺知识产权代理有限公司

代理人：

李兰英

优先权：

CN200620048051.2

主分类号：

C30B15/30

IPC分类号：

C30B15/30 C30B11/00 C30B35/00